半導體設備公司面臨“幸福的煩惱”。芯片制造廠紛紛擴產，設備公司訂單增多。但受全球供應鏈緊張及疫情影響，零部件交付周期一再延長，導致半導體設備交付難度加大。“海外零部件廠商會優先保障本地設備廠商，國內設備廠商只能想辦法多下訂單，爭取多拿一些貨。”半導體設備產業資深人士李明（化名）告訴中國證券報記者。

訂單飽滿

“目前公司在手訂單較為充足，生產經營正常，預計上半年業績將保持增長。”北方華創副總裁、董秘王曉寧近日表示。

北方華創是國內綜合半導體設備龍頭企業，產品主要服務于國內主流半導體企業的成熟制程。2021年年底，公司合同負債增至50.46億元，較期初增長66%。

國內刻蝕機設備龍頭中微公司2021年新簽訂單41.3億元，同比增長90.5%。公司的CCP刻蝕設備已批量應用于國內外一線客戶的集成電路生產線。

今年一季度，萬業企業控股子公司凱世通累計新增集成電路設備訂單超6.80億元，包含低能大束流離子注入機、低能大束流超低溫離子注入機。離子注入機為集成電路前道四大核心設備之一，研制難度極大，長期被海外設備廠商壟斷。

“公司產品需求強勁，二季度和三季度的產能已排滿，四季度及明年一季度的產能也很緊俏。”國內清洗設備龍頭盛美上海近期表示。公司合同負債從2021年年初的0.86億元增至2022年一季度末的4.43億元。

目前，拓荊科技在手訂單飽滿，公司合同負債已從2021年年初的1.34億元增至2022年一季度末的7.80億元。拓荊科技是國內唯一一家產業化應用的集成電路PECVD、SACVD設備廠商。

全球半導體短缺和芯片制造廠的持續投資，刺激半導體設備行業加快發展。國際半導體產業協會預計，2022年全球晶圓設備支出將再創新高至1070億美元，同比增長18%。

“國內晶圓廠和存儲廠采購本土設備的趨勢明顯，國內半導體設備公司業績增長確定性高。”某頭部券商電子行業首席分析師表示。

交付延遲

供應緊張蔓延到零部件端。全球半導體設備龍頭企業應用材料相關負責人近日表示，由于零部件供應延遲，應用材料2022財年第二季度的銷售額減少了1.5億美元。

李明說，“海外零部件廠商供應延遲既有疫情因素，也有‘缺芯’帶來的連鎖反應。開關、控制器等零部件也需要芯片，芯片短缺會影響到零部件的交付。同時，部分零部件廠商不急于擴大產能，因為擔心未來產能過剩。即使擴產，也需要一定時間，同時會面臨人工短缺等問題。”

中國證券報記者獲悉，半導體設備零部件交付周期普遍延長，短則數月，長則半年以上。盛美上海表示，“海外零部件的采購以及向海外發貨都受到疫情影響。隨著復工復產的推進，預計后續影響會逐步減小。”